Edwards爱德华/精工精机STP-A1303CV磁悬浮分子泵案例

半导体设备泵保养-Seiko Seiki精工精机STP-A1303CV分子泵维修成功, 金华杰分子泵维修团队，成功维修了多台用于半导体设备泵上的Edwards爱德华STP-A1303CV分子泵，日本精工精机STP-A1303CV磁悬浮分子泵进气法兰口ISO200F/ICF2253/VG200，出气法兰口KF40，抽速可达到1300 L/s，转速为16000rpm-32500rpm，Seiko Seiki精工精机STP-A1303CV磁悬浮分子泵保养对应的控制器为：Seiko Seiki SCU-1600，金华杰精修Edwads爱德华/Seiko Seiki精工精机全系列分子泵。