Pfeiffer普发ATH1603MT磁悬浮分子泵保养， Pfeiffer  ATH1603MT分子泵可以安装在任何方向，普发ATH1603MT磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口DN200 ISO-F/DN200 CF-F/DN250 ISO-F/DN250 CF-F，出气法兰口DN 40 ISO-KF，抽速可达到1360 L/s - 1400 L/s，转速为39000rpm，极限压力1X10-8 mbar，对应的控制器为： Pfeiffer  Magpower 。

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