Pfeiffer普发 HiPace 1500U涡轮分子泵维修，Pfeiffer  HiPace 1500U普发涡轮分子泵进气法兰口DN250 ISO-F/DN250 ISO-K/DN250 CF-F，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1100L/s - 1450 L/s，转速为37800rpm，极限压力1X10-8 mbar，对应的控制器为：Pfeiffer TC1200等。

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Pfeiffer普发HiPace 1500U分子泵参数：