Shimadzu岛津TMP-803MC磁悬浮分子泵保养， Shimadzu  TMP-803MC分子泵进气法兰口VG150/ICF203/ISO160B，出气法兰口KF40，抽速可达到800L/s，转速为35000rpm，极限压力1x10-11Torr(1.3x10-11mbar)，Shimadzu岛津TMP-803LM磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu  EI-D1003M,金华杰精修Shimadzu岛津全系列磁悬浮分子泵

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