Shimadzu岛津TMP-403M/MC磁悬浮分子泵维修，日本岛津TMP-403MC磁悬浮分子泵进气法兰口CF60/VG150/ISO100，出气法兰口KF25，抽速可达到420 L/s，转速为45000 rpm，岛津TMP-403M极限压力10-8 pa，岛津TMP-403MC极限压力10-7 pa，岛津TMP-403MC磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D303M，金华杰精修Shimadzu岛津全系列磁悬浮分子泵。

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Shimadzu岛津TMP-403M/MC分子泵参数：