Pfeiffer普发TMU1601PCH分子泵维修,Pfeiffer  TMU1601PCH普发涡轮分子泵进气法兰口DN200 CF-F/ DN250 CF-F，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1000 L/s -1400 L/s，转速为24000rpm -36000rpm，极限压力1X10-9 mbar，对应的控制器为：Pfeiffer  TC600等。

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Pfeiffer普发TMU1601PCH分子泵参数：