Pfeiffer 普发TMU1600MP分子泵维修,Pfeiffer TMU1600MP普发涡轮分子泵进气法兰口DN200 CF-F/DN250 CF-F，出气法兰口DN40 ISO-KF ，抽速可达到1100 L/s -1500 L/s，，转速为24000 rpm -36000 rpm，极限压力5X10-10 mbar，对应的控制器为：Pfeiffer TCP600等。

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Pfeiffer普发TMU1600MP分子泵参数：