Pfeiffer普发TMH1600M分子泵维修,Pfeiffer TMH1600M普发涡轮分子泵进气法兰口DN200 ISO-K/DN250 ISO-K，出气法兰口DN40 ISO-KF ，抽速可达到1100 L/s-1500 L/s，转速为24000 rpm -36000 rpm，极限压力5X10-10 mbar，对应的控制器为：Pfeiffer TCP600等。

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