Pfeiffer 普发TMH521UP分子泵维修,Pfeiffer  TMH521UP普发涡轮分子泵进气法兰口DN 160 ISO-K/DN 160 ISO-F，出气法兰口 DN 25 ISO-KF，抽速可达到520 L/s,转速为43000rpm，477HZ转速为49980 rpm，对应的控制器为：Pfeiffer  TC600等。

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