Varian pump
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瓦里安TPS-bench TV81M分子泵机组保养,Varian TPS-bench TV81M pump system紧凑型分子泵系统是由瓦里安Turbo-V81M涡轮分子泵和DS42/DS102/SH110等前级真空泵组成,进气法兰口DN40/DN63,抽速可达到50 L/s-77 L/s,真空度5X10-9 mbar.

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