Leybold德国莱宝磁悬浮分子泵维修-Oerlikon MAGW3200 TURBO pump保养-莱宝质谱仪机械泵维修
Oerlikon莱宝MAGW3200磁悬浮TURBO pump保养，Leybold MAG W 3200德国莱宝磁悬浮分子泵可任意角度安装，Leybold MAG W 3200磁悬浮分子泵耐腐蚀适用于所有半导体工艺，如蚀刻，CVD，PVD等，Oerlikon MAG W 3200莱宝磁悬浮分子泵进气法兰口DN320/ISO-F，出气法兰口DN40KF,抽速可达到3200L/s，转速为28800 rpm，Leybold MAG W 3200对应的控制器为：Leybold MAG.DRIVE digital
Leybold MAG W 3200德国莱宝磁悬浮分子泵典型的应用：
蚀刻
空间模拟
CVD，PVD
半导体工艺
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Oerlikon MAG W 3200莱宝磁悬浮分子泵参数：
Oerlikon MAG W 3200莱宝磁悬浮分子泵抽速：
Oerlikon MAG W 3200莱宝磁悬浮分子泵尺寸：
