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Seiko Seiki STP-400精工精机分子泵维修，Seiko Seiki STP-400/STP-400C日本精工精机分子泵进气法兰口VG125/VG150/ISO160/ICF203，出气法兰口KF25，抽速可达到420 L/s，转速为48000rpm，VG/ISO法兰口极限压力10-7Pa (10-9Torr)，ICF法兰口极限压力10-8Pa (10-10Torr)，精工精机Seiko Seiki STP-400分子泵对应的控制器为：Seiko Seiki SCU-400

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