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爱德华STP-A2503磁悬浮分子泵保养,Edwards STP-A2503爱德华磁悬浮分子泵进气法兰口VG150/ISO250F/ICF305,出气法兰口KF40,抽速可达到2500 L/s,转速为27000 rpm,极限压力10-6Pa(10-8Torr),对应的控制器为:Edwards SCU-1600,Edwards SCU-1500,Edwards SCU-1400
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爱德华磁悬浮分子泵适用于:
电子显微镜
表面分析仪
质谱仪
离子注入
干刻
分子束外延
加速器
原子聚变实验
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