涡轮分子泵的缺点（Pfeiffer普发分子泵维修）

涡轮分子泵的缺点（Pfeiffer普发分子泵维修）

任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。下面介绍它存在的一些缺点。

(1) 设备费用高

在抽速大于1000 L/s 的涡轮分子泵要比扩散泵和低温泵的设备投资大。然而涡轮分子泵在由于工艺气体或其它原因而不能使用扩散泵和低温泵的特殊场合下它是很好用的。若与小型或中型扩散泵相比，小涡轮分子泵是相当贵的。然而考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。

（2) 对颗粒物或沉积物敏感

若物体（螺钉、玻璃碎片、灯丝或硅片）落入正在运转的涡轮分子泵中，涡轮会遭到损坏，往往需返回制造厂进行维修。一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作**起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。这种措施对泵的有效抽速损失较大。敷在叶片上厚的沉积物，会造成对叶片的磨损和通道堵塞，也会影响转子的不平衡。如果一些粒子进入轴承，造成磨损，能降低泵的工作寿命。因此在某些应用中，安装保护措施是必要的。

(3) 噪音与振动

从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。在正常的工作中，泵处于平静的状态，*大振幅在0.1～0.001 μm(即100～1 nm)之间,在某些精密设备上得到应用。而测不出易觉察的振动。对涡轮分子泵进行频谱分析。振动速度V 的单位为μm/s，频率的单位为Hz，计算振幅可用公式：d=V/2πf，式中d 为振幅μm，f 为频率Hz，产生的*大振幅＜0.005 μm（＜5 nm）如此小的振动，涡轮分子泵运转很平稳，噪音很小,对某些特殊应用也是问题。


(4) 破碎问题

有些用户由于害怕转子叶片破碎而不敢使用涡轮分子泵，破碎是在泵正常运转时，叶轮突然遭到吸入异物或轴承磨损而出现破碎的。通常要有保护措施，如在入口处加过滤网，破碎通常是可以避免的。

(5) 暴露大气易引起事故

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