分子泵叶片打碎原因（机械泵维修）

                                                                分子泵叶片打碎原因（分子泵维修）

造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

1、误操作；比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

2、是异物掉入；没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。

3、电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。

4、前级泵的效率差；我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

5、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。

6、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。

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