极高真空技术及其应用

                                                           极高真空技术及其应用

真空浸泡后油峰有所增加的事实表明，从油蒸气对容器所造成的污染来说，除泵正常运转中的返流外，在系统没有隔离阀的情况下，主要是系统在真空浸泡期间发生的。因为这时泵已停止工作，失去了抽气作用，而系统仍处于真空，原先吸附障板冷面上的大量返流物会因升温而解吸，几乎是毫无阻碍地返进容器重又吸附于器壁上。这样，在下一次运转中，由于污染物的解吸很缓慢，使系统的清洁程度变坏，也大大延长了抽气时间。此外，真空静置期间，泵液也可能通过蒸发、爬移等途径对容器壁造成污染。克服这一问题的方法除在系统中设置隔离阀外，简便可行的方法是采用充氮保护。

        通过实验研究，得到如下几点结论：

        ①由机械泵和扩散泵组成的抽气系统中，若不采取阱、障板等降低泵液返流措施，扩散泵和机械泵工作液的返流是限制系统极限压力的主要因素之一。

        ②氟里昂单层人字形障板和设计良好的液氮冷阱能有效地降低泵液返流，其捕获效率分别大于0.9和0.99

        ③烘烤是去除表面污染和降低表面放气的有效方法。250℃，8h烘烤，结合障板和阱的效果，能获得好于3.06×10-8Pa酌真空，剩余气体中泵液污染物检测不到。估计泵液返流率<7×10 -12g/min．cm/。剩余气体主要组分是H2（约占78.3%），其次是C、CO和N2。C主要来自钨灯丝。

        ④泵液对容器的污染除泵正常运转外，主要是系统停止运转期间原来冷凝于阱中的大量冷凝物的解吸，以及真空静置期间油的蒸发爬移。在容器与阱间设有隔离阀的情况下，采用充氮保护运转方法能有效地降低上述污染过程。

        ⑤真空浸泡是降低表面放气的简便方法，既缩短了抽气时间，又提高了极限真空度。

        值得提出的是：用油扩散泵抽气系统完全能够获得既清洁、油污染又小的真空环境。它有赖于合理的系统结构和正确的运转程序两个方面。

• 此信息来自-深圳市金华杰电子有限公司-作者：www.szvacuum.com深圳市金华杰电子有限公司集二十年丰富的研发、设计及生产经验，公司拥有一批专业从事生产、销售及维修的技术人员，可全方位多途径为国内外光学镀膜行业，光盘行业，光磁存储行业，半导体生产行业，平板及光电显示器行业，分析仪器及科研行业,真空工业应用等行业提供上等服务。