分子泵泄漏检测

核心检测方法

· 氦质谱检漏法（精度*高）：将分子泵抽至<10^-4 Pa高真空，用喷枪在法兰、焊缝等可疑处喷氦气。若存在泄漏，氦气会被吸入并由检漏仪报警，灵敏度可达10^-12 Pa·m³/s。

· 压力维持法（辅助判断）：关闭泵两端阀门静置，若真空度下降过快或维持泵频繁启动，表明系统存在泄漏。

常见漏点与预防

常规维护后，漏点多发生在人为拆装部位：

· O型圈/密封垫：易因老化、破损、沾污或忘记安装导致泄漏。

· 安装技巧：确保密封面洁净无划痕，O圈安装到位且无扭曲，必要时均匀涂抹真空脂。

注意事项

· 联锁保护：检测时严禁从前级（排气口）侧大量充氦气，以免气体冲击损坏高速旋转的叶片。

· 附件振颤：若是现场移动检测，检查连接波纹管或阀门是否存在松动。