Shimadzu TMP-1003LMC岛津五轴磁悬浮分子泵维修成功

                            Shimadzu  TMP-1003LMC岛津五轴磁悬浮分子泵维修成功  

Shimadzu岛津TMP-1003LMC磁悬浮分子泵维修成功，金华杰分子泵维修团队，成功维修了多台用于半导体设备上的岛津TMP-1003LMC磁悬浮分子泵,日本岛津Shimadzu TMP-1003LM/TMP-1003 LMC 磁悬浮涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、全方位安装的涡轮分子泵，Shimadzu TMP-1003LM/TMP-1003LMC分子泵进气法兰口VG200/ICF253/ISO200B，出气法兰口KF40，抽速可达到1080 L/s，转速为35000 rpm，Shimadzu TMP-1003M岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D1003M

Shimadzu  TMP-1003LMC岛津磁悬浮分子泵具体参数：http://www.szvacuum.com/szvacuum_Product_2004943762.html

Shimadzu  TMP-1003LMC岛津五轴磁悬浮分子泵涡轮

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